VIAS đã thiết kế, lập trình và lắp đặt giải pháp robot 6 trục UR để tự động hóa máy rửa wafer trong môi trường hóa chất cho một nhà máy bán dẫn tại miền Bắc. Robot UR thay công nhân gắp magazine chứa hàng qua từng bể hóa chất theo đúng quy trình. Nhờ giải pháp này, nhà máy tăng hiệu suất và chấm dứt tình trạng hàng bị ngâm quá giờ do quên lấy ra.

Máy rửa hóa chất tích hợp robot 6 trục UR do VIAS thực hiện
NgànhSản xuất linh kiện bán dẫn – công đoạn rửa wafer
Khu vựcMiền Bắc Việt Nam
Hạng mụcTích hợp robot 6 trục UR cho dây chuyền máy rửa hóa chất trong phòng sạch
Phạm vi VIASThiết kế, lập trình, lắp đặt
Kết quảTăng hiệu suất; không còn hàng hỏng do ngâm quá giờ

Bài toán: công nhân thao tác trực tiếp với bể hóa chất

Trước khi có robot, công nhân phải tự đưa magazine chứa wafer vào bể hóa chất, chờ đủ thời gian rồi chuyển sang bể tiếp theo. Môi trường làm việc có hóa chất độc hại, nên thao tác thủ công tiềm ẩn rủi ro cho sức khỏe người lao động.

Thao tác thủ công còn phụ thuộc vào sự chú ý của người vận hành. Khi người vận hành quên lấy hàng ra đúng giờ, wafer bị ngâm quá thời gian và có thể hỏng cả lô.

Giải pháp VIAS: robot 6 trục UR gắp magazine qua từng bể

VIAS đưa robot 6 trục UR vào thay thế thao tác của con người. Robot gắp magazine đưa vào bể hóa chất, chờ máy rửa hoàn thành, rồi chuyển magazine sang bể kế tiếp theo đúng quy trình của nhà máy. Khi toàn bộ quy trình kết thúc, robot đưa magazine ra cửa output.

VIAS thiết kế tool gắp riêng cho robot, bọc bảo vệ cánh tay robot và dùng PLC, HMI của LS để điều khiển và giám sát toàn bộ chu trình.

Quy trình vận hành

  1. Công nhân đặt magazine vào cửa input, quét mã lot trên phiếu và xác nhận trên màn hình HMI.
  2. Khi hệ thống đủ dữ liệu và nhận tín hiệu cảm biến, robot UR gắp magazine đưa vào bể đầu tiên.
  3. Robot chuyển magazine lần lượt qua các bể hóa chất theo đúng thời gian của quy trình rửa.
  4. Khi quy trình rửa hoàn thành, robot gắp magazine ra cửa output và hệ thống ghi log cho lô hàng đó.

Tính năng nổi bật

  • Robot lưu nhiều chương trình chạy khác nhau, nên một máy rửa xử lý được nhiều loại hàng.
  • Kỹ sư có thể tạo quy trình chạy mới trực tiếp trên HMI mà không cần lập trình lại robot.
  • Hệ thống ghi log dữ liệu mỗi khi một lô hàng hoàn thành.
  • Robot luôn lấy hàng ra đúng thời gian cài đặt, nên hàng không còn bị ngâm quá giờ.

Danh mục thiết bị chính

Hạng mục Hãng / model Số lượng
Robot 6 trục Universal Robots (UR) 1 bộ
PLC LS 1 bộ
HMI LS 1 bộ

Kết quả

  • Nhà máy đưa công nhân ra khỏi khu vực thao tác trực tiếp với hóa chất.
  • Dây chuyền tăng hiệu suất nhờ robot vận hành liên tục và đúng nhịp.
  • Nhà máy không còn tình trạng hàng hỏng do ngâm quá giờ vì quên lấy ra.
  • Mỗi lô hàng đều có log dữ liệu, nên bộ phận chất lượng truy xuất nhanh.

Hình ảnh dự án

Cánh tay robot UR bọc áo bảo vệ gắp magazine vào bể rửa
Robot UR với áo bảo vệ chống hóa chất
Màn hình HMI LS và máy quét mã lot trên máy rửa dùng robot
Người vận hành quét mã lot và xác nhận trên HMI
Máy rửa wafer tự động dùng robot UR trong nhà máy bán dẫn
Máy rửa wafer tự động hóa bằng robot UR
Dây chuyền máy rửa hóa chất tự động trong phòng sạch
Dây chuyền máy rửa sau khi tích hợp robot
Bản vẽ 3D dây chuyền máy rửa tích hợp robot UR
Thiết kế 3D dây chuyền máy rửa do VIAS thực hiện

Câu hỏi thường gặp

Robot UR có làm việc được cạnh bể hóa chất không?

Có. VIAS lựa chọn vị trí lắp đặt, tool gắp và áo bảo vệ phù hợp để robot làm việc ổn định cạnh bể hóa chất theo yêu cầu thực tế của nhà máy.

Có thể gắn robot vào máy rửa đang có sẵn không?

Có. Kỹ sư VIAS khảo sát máy rửa hiện hữu và tích hợp robot cùng hệ điều khiển mà nhà máy không cần thay toàn bộ máy.

Nhà máy của bạn còn công đoạn nguy hiểm cần robot thay người?

VIAS tích hợp robot 6 trục cho các công đoạn độc hại, lặp lại hoặc đòi hỏi đúng giờ tuyệt đối. Anh chị hãy gọi ngay cho VIAS để kỹ sư khảo sát và tư vấn giải pháp.

Email: Sales.viasjsc@gmail.com · Website: viasjsc.com

Dự án khác của VIAS

Xem tất cả dự án